fei扫描电子显微镜技术指标是什么？fei扫描电子显微镜的主要功能有哪些？|环球百事通
2023-06-25 14:15:13
来源：汪清新闻网
fei扫描电子显微镜技术指标是什么?
FEI场发射扫描电子显微镜是一种用于材料科学领域的分析仪器，于2014年4月24日启用。二次电子分辨率 15KV时优于0.8nm，1KV时优于0.9nm;STEM模式，BF像 30KV时优于0.6nm。
fei扫描电子显微镜的主要功能有哪些?
带能量单色过滤器，超高分辨率热场发射扫描电镜，低加速电压下具有较高的分辨率，能够直接观察不导电材料的显微结构，热场发射肖特基电子枪，束流大，且稳定，电子束流连续可调。
关键词： fei扫描电子显微镜技术指标是什么 fei
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